Mechanische Eigenschaften von Halbleiterrollen

Herstellung der zylindrischen Rolle aus verspannten Halbleiterheterostrukturen mit einem genau auf den zur Verfügung gestellten Wafer abgestimmten Ätzverfahren, sowie optische Untersuchung der Mikrorollen und Katalogisierung. Übertragung der Schwingungen eines Piezokristalls auf die Mikrorollen und Schwingungsmessungen mit Hilfe eines Michelson Interferometers. Ermittlung der Eigenschwingungen der Mikrorollen durch Vergleich von Messungen auf den Rollen und auf dem Substrat. Diskussion des Ätzvo ...